Mikrosonde-EPMA

Mikrosonde-EPMA

Der Lehrstuhl für Mineralogie betreibt eine Elektronenstrahl-Mikrosonde (hochauflösendes REM mit angeschlossener WDS –Analyse) vom Typ Jeol JXA8200 Superprobe. Elektronen werden an einer Wolframkathode thermisch erzeugt. Effiziente und genaue Analysen werden durch fünf wellenlängendispersive Spektrometer bewerkstelligt. Die WDS- Spektrometer sind in der Lage die Elemente mit größerer Ordnungszahl 3 zu analysieren. Dazu stehen verschiedene Beugungskristalle (LIF, PET, TAP) sowie für leichte Elemente (Be, B, C, N, O, F) (LDE1, LDE2, LDEB) zur Verfügung.
Zusätzlich kann die Probe mittels Auflicht- und Durchlichtmikroskopie betrachtet werden. Die Mikrosonde ermöglicht die Bestimmung der chemischen Zusammensetzung verschiedenster Probenarten.
Der Probenhalter HSLSS XM-81010 der ESM ermöglicht Probendimensionen bis 9 x9 x 2 cm (L x B x H).

Für weitere Informationen wenden Sie sich bitte direkt an den Lehrstuhl für Mineralogie.

Jeol Superprobe mit 5 Spektrometern und EDS-System

 

Konfiguration der Spektrometer und Beugungskristalle der Elektronenstrahlmikrosonde (nach A. Kronz)

 

Sputter- und Bedampfungsmaschine MED 020, Fa. BAL-TEC
Probenhalter mit Standardmaterialien für Anschliffe und Dünnschliffe

 

Schleif- und Poliermaschine RotoPol 22 der Firma Struers für Anschliffe und Dünnschliffe

 

Die Elektronenstrahlmikrosonde JEOL JXA-8200 zeichnet sich durch folgende Parameter aus:

  • Fünf wellenlängendispersive Spektrometer (WDS):
  • Messbares Elementspektrum: 4-Be to 92-U (alle Elemente mit Z > 3).
  • Acht Beugungskristalltypen: TAP, PETJ, PETH, LDE1, LDE2, LDEB, LIF, und LIFH.
  • LDE1-, LDEB und TAP –Kristalle, sowie Ar/Methan-Durchflusszählern erlauben die Messung leichter Elemente
  • Energiedispersives Spektrometer (EDS):
  • Sekundärelektronen (SE) und Rückstreuelektronen (BSE) Bildgebung?:
  • Auflösung SE: 6 Nanometer (bei 30 kV Beschleunigungsspannung; 11 mm Arbeitsabstand).
  • Rückstreuelektronenbildmodi: Chemische Zusammensetzung (Summe) und Topographie (Differenz).
  • Linienanalyse und Abbildungsanalysen möglich (Mapping)
  • Matrix Korrektur mittels ZAF.
  • Schneller und großer Probenhalter (HSLSS XM-81010):

Maximale Probengröße: 100 x 100 x 50 mm (H).

Größtmöglicher Analysebereich: 90 x 90 mm.

  • Beschleunigungsspannung: 0.2 bis 30 kV (in 0.1 kV Stufen).
  • Bereich des Elektronenstrahlstroms: 10-12 bis 10-5 A
  • Stabilität des Elektronenstrahlstroms: ± 0.5 x 10-3/h; ± 3 x 10-3/12h
  • Integriertes Lichtmikroskop (Auflicht- und Durchlichtmikroskopie)